氦质谱检漏仪
1972 年由瓦里安公司首先在氦质谱检漏仪的设计中提出了逆流式的概念，使得目前全球的氦质谱检漏仪全部采用逆流式的方法进行检漏。
瓦里安的发明之一，优点在于：
·极大的排气量
·前级耐压高达 18mbar
·压缩比提高了几个数量级却丝毫不增加泵的体积和重量，对质量轻的气体更为显著。
vｓ系列氦质谱检漏仪
特性及优点
·多种语言和计量单位选择，可选中文界面
·135º电离偏转(自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构
·新的电子线路及信号处理设计
·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程
·快速清氦和快速响应
·测试口耐压高，可实现大漏检漏
vs系列 氦质谱检漏仪参数表
性能指标
pr02
mr15&md30
性能
前级泵内置式
前级泵外置式及小车
前级泵       油式机械泵
ds-42 2 m3/hr (34 l/m)
ds-302 14 m3/hr (232 l/m)
涡卷式干泵
n/a
ts-620 30 m3/hr (500 l/m)
最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下
5×10-12atm cc/sec； 5×10-12mbarl/s；5×10-13pam3/sec helium
测试口**耐压
16 mbar，12 torr，1600 pa
测试口处对氦气抽速
1.8 l/s
校准程序
自动或手动（内置或外置）
氦本底清零
按键清零，并具有零点追踪功能
操作界面
高清晰彩显，tft触摸屏
语言选择
中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语
循环检测
可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点
响应时间
＜1.0秒
设定点
标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点
通讯协议
rs-232通讯借口，9600波特率（9芯窜口）
执行标准
ul，ce，csa

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